ファウンドリー最大手、台湾積体電路製造（TSMC）のサプライヤーによると、TSMCは、米アリゾナ州フェニックス市で建設中の12インチウエハー工場（Fab21）で、現在最先端の3ナノメートル製造プロセスも導入する。2024年に5ナノで量産開始、26年に月産能力を4万枚に倍増させ、3ナノと5ナノの混合生産方式を採用するようだ。アリゾナ工場は12月上旬に最初の設備搬入の記念式典を開催する予定で、劉徳音（マーク・リュウ）董事長が訪米するほか、バイデン大統領が出席するとされる。米中関係が緊迫化する中、米政府が戦略物資である先進半導体の国内生産比率を引き上げるため、TSMCのアリゾナ工場を重要視している表れだ。1日付聯合報などが伝えた。

　アリゾナ工場は、米国で最先端となる5ナノ工場として計画され、21年4月に着工、24年の量産開始、当初の月産能力は2万枚を予定している。投資額は120億米ドル。

　米政府が8月に成立させた、中国への対抗を念頭に、米国内への半導体工場誘致などに資金援助を行う「CHIPS（チップス）法」で、最初の支援対象となる見通しだ。

米政府関係者300人出席か

　聯合報によると、アリゾナ工場の設備搬入式典の出席者は900人。訪米する台湾の政府関係者やサプライチェーン（供給網）関係者300人のほか、在米国の政府関係者、設備メーカーなど現地サプライヤーのトップが残り600人を占めるようだ。8月2〜3日に訪台したナンシー・ペロシ下院議長も招待リストに含まれている。

　海外メーカーは、アプライド・マテリアルズやラムリサーチ（LRCX）、ASML、東京エレクトロンが、台湾メーカーは、総合エンジニアリング最大手の中鼎工程（CTCI）、クリーンルーム大手の漢唐集成（UIS）、半導体製造装置の帆宣系統科技（マーケテック・インターナショナル、MIC）などが招待されている。

　TSMCは先週、劉・董事長の訪米に、サプライチェーン管理担当の林錦坤・シニア副総経理、工場運営担当の王英郎・副総経理が同行することを決定した。TSMCの独立董事（独立社外取締役）を務める、台達電子工業（デルタ・エレクトロニクス）の海英俊・董事長も出席する。

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