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作成日：2008年10月14日_記事番号：T00010869
ＴＳＭＣ、８インチ工場をＭＥＭＳ用に転換
台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）が、８インチウエハー工場の一部ラインで、微小機械電子システム（ＭＥＭＳ）製造への転換を積極的に進めている。14日付工商時報が報じた。
同社は既に、ライン型インクジェットの豪シルバーブルックや、加速度センサーの米メムシックなどからＭＥＭＳを受注しているほか、第４四半期中には米アナログデバイセズ（ＡＤＩ）からもＭＥＭＳ加速度センサーやＭＥＭＳマイクなどを受託する見通しだ。年内にウエハー投入枚数は月4,000枚を超えるとみられる。
ＴＳＭＣがこのほど発表した計画によると、同社は１億740万米ドルの資金を投じて、0.18マイクロメートル・ロジックプロセスのラインの一部を0.11マイクロメートルＣＭＯＳセンサープロセスに転換し、さらに0.13マイクロメートル高圧プロセスおよび0.18マイクロメートルのＲＦプロセスのラインを拡充する。また、0.35マイクロメートルのロジックプロセス生産ラインの一部もＭＥＭＳに転換する計画だ。
