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石油・化学
作成日：2007年8月24日_記事番号：T00002294
台塑が三フッ化窒素増産、20億元投資
台湾塑膠工業（フォルモサ・プラスチックス）は、三フッ化窒素の増産に20億台湾元（約70億円）を投資する計画だ。設備拡張は２段階に分け進める予定で、それぞれ年500トンの増産を行う。2009年には生産能力が年1,400トンに達する予定だ。24日付工商時報が伝えた。
三フッ化窒素は主に半導体や液晶パネルの生産過程におけるクリーニング用ガスとして使用されている。台湾には半導体ウエハー工場や液晶パネル工場が密集しており、三フッ化窒素の需要が拡大している。
台塑は現時点で三フッ化窒素の国内需要は年1,400トンで、来年から09年にかけ12インチウエハー工場の増設や第６～７世代液晶パネル工場の新設が進むと、同需要は年2,200トンに拡大すると見込んでいる。
