ファウンドリー最大手、台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）は16日、中部科学工業園区（中科）で12インチウエハー工場「Fab15」のくわ入れ式を行った。28ナノメートル製造プロセスの設備を備えるほか、20ナノ導入の重要拠点となる見込みだ。17日付工商時報が報じた。
Fab15のくわ入れを行う張忠謀董事長（右２）（16日＝中央社）
投資総額3,000億台湾元（約8,000億円）以上となる同工場は、敷地面積18.4ヘクタール、建築面積は43万平方メートル。クリーンルームは10万4,000平方メートル、ウエハー投入枚数は月間ベースで10万枚を超える巨大工場だ。第１期工事では来年６月に設備搬入、2012年第１四半期に量産を開始する。
同工場は環境に配慮したグリーン建築技術を採用、また製造工程で使用される用水の85％をリサイクルするほか、雨水利用や排気熱循環システムなど多岐にわたる省エネおよび環境汚染対策が取り入れられる。
なお張忠謀董事長は、同工場の隣接地に同社第１基目となる薄膜太陽電池工場を設置し、同社の新たな成長段階が始まるとの見通しを示した。
