ニュース 電子 作成日:2011年2月11日_記事番号:T00028161
エルピーダメモリは10日、傘下の瑞晶電子(レックスチップ・エレクトロニクス)の研究開発(R&D)拠点で、4F2メモリセルを使った1ギガビット(Gb)DDR SDRAMの試作に成功したと発表した。
同拠点は昨年からR&D活動を開始し、4F2メモリセルを使ったDRAMの開発を進めてきた。試作品は65ナノメートルのデザインルールを採用している。
4F2メモリセルは、シリコン基板にビットライン、ワードラインを形成し、縦型トランジスタを用いることで2F×2F(Fは最小加工寸法)のメモリセルを構築する技術。従来の6F2メモリセルに比べ、セルサイズを約30%縮小できる。
エルピーダは「4F2メモリセル技術は信号の保持特性に優れており、動作性能が優れた縦型トランジスタを用いることで、将来DRAMの有力な基礎技術になる。消費電流の少ないモバイルDRAMにも対応できる」と説明した。
エルピーダの坂本幸雄社長は「試作に成功した4F2メモリセルは、次々世代となる20ナノメートル以降のDRAMに欠かせない有力な基礎技術の一つだ。その技術開発に取り組み今回の成果へとつなげたことで、将来のDRAM業界をけん引するテクノロジーリーダーとしての地位を確立した」と評価した。
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