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BASF観音新工場、半導体用CMP研磨材の量産開始


ニュース 電子 作成日:2011年9月28日_記事番号:T00032809

BASF観音新工場、半導体用CMP研磨材の量産開始

 独化学大手BASF傘下の台湾BASFは27日、桃園県観音郷に新たに設置したCMP(化学機械研磨)スラリー(研磨材)工場で量産を開始すると発表した。同工場は、最先端の半導体製造で使用されるCMPバリアスラリー(PLANAPUR Tシリーズ)とSTIスラリー(PLANAPUR Sシリーズ)を専門に製造する。28日付工商時報が報じた。

 BASFは桃園県を電子材料分野の主力製造拠点としており、既存の龍潭工場に観音工場を加え、業績の拡大を狙う。また観音工場には敷地内にCMPアプリケーション・ラボも設置しており、最先端ソリューションの開発などを行う。

 BASF、CMP事業部の王静亜総監は、CMPは最先端IC製造の鍵を握る技術とされており、新工場と実験室の設置で、半導体顧客により良いサービスを提供できると述べた。