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18インチウエハー移行、18年以降か


ニュース 電子 作成日:2012年8月28日_記事番号:T00039056

18インチウエハー移行、18年以降か

 半導体業界では、18インチウエハーへの技術移行に向け、インテル、台湾積体電路製造(TSMC)、サムスン電子の3社がオランダの半導体リソグラフィー(露光)装置大手ASMLと共同投資で合意したが、18インチウエハーによる量産開始は当初の2016年から18年ごろへと遅れる見通しとなっている。

 ASMLにはインテルが15%、TSMCが5%を出資したのに加え、27日にはサムスン電子も3%の出資を決めた。

 ASMLが半導体大手3社から資金注入を受け、次世代の半導体リソグラフィー装置の開発を加速することで、18インチウエハーによる量産開始が早まるとの観測もあったが、線幅(プロセスノード)の規格が確定していない上、その他の設備業者による追随の動きは鈍いため、量産時期はむしろ遅れる可能性が高まっている。

 28日付電子時報によると、TSMCは「18インチウエハーは15~16年は試験生産にとどまり、量産は17〜18年になるのではないか」と指摘した。