オランダの半導体製造装置大手、ＡＳＭＬは23日、米国顧客から少なくとも15台の極端紫外線（ＥＵＶ）露光装置を受注したと発表。これにより、ＡＳＭＬにＥＵＶポッドを供給する家登精密工業（Gudeng）、部品やモジュールの受託生産を手掛ける帆宣系統科技（マーケテック・インターナショナル）といった台湾メーカーも恩恵を受ける見通しだ。24日付工商時報が報じた。
半導体業界においてＥＵＶ技術は、ムーアの法則（半導体の集積密度は18～24カ月で倍増する）を継続させる上で鍵を握る重要技術とされ、台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）は既にＡＳＭＬに２台のＥＵＶ露光装置を発注。年内の納品を予定している他、既に納品を受けている２台についてもアップグレードを行う予定だ。
家登精密は世界のＥＵＶポッドサプライヤー２社のうちの１社で、ＴＳＭＣおよびインテルにフォトマスクケースも供給している。
一方、マーケテックは長年にわたりＡＳＭＬと提携関係にあることに加え、ＡＳＭＬは今年から外部委託を拡大することから大きな恩恵を受けそうだ。
