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TSMC、東京エレクトロンに設備発注


ニュース 電子 作成日:2016年2月17日_記事番号:T00062022

TSMC、東京エレクトロンに設備発注

 ファウンドリー最大手、台湾積体電路製造(TSMC)は16日、東京エレクトロンに5億5,400万台湾元(約19億円)相当の生産設備を発注したと発表した。台湾南部地震で損壊した設備の埋め合わせとされる。17日付中国時報が報じた。

 業界では、地震によるTSMCのウエハー破損枚数は約6万枚、被害額は70億元以上と推計されているが、同社の孫又文・企業情報処処長は、推計値はどれも不正確だと強調した。

 業界関係者は、TSMCの南部科学工業園区(南科)Fab14の先進プロセスで、一部のウエハーが露光中に地震が発生したため、破棄して生産し直す必要に迫られた可能性があり、全ラインの再調整に25日かかると指摘した。