ファウンドリー最大手、台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）は18日、５ナノメートル製造プロセス移行に伴う南部科学工業園区（南科）での環境影響差異分析が、行政院環境保護署（環保署）の環境影響評価（環境アセスメント）委員会大会を通過した。ＴＳＭＣは、これにより５ナノプロセスの生産拠点が決定し、早ければ年内に着工すると説明した。世界で最も早く2020年に量産し、インテルやサムスン電子に対するリードを拡大する構えだ。19日付経済日報が報じた。

ＴＳＭＣは先進プロセス競争で一歩前進した（ＹＳＮ）

　ＴＳＭＣの南科工場は現在、16ナノプロセスが中心だ。10ナノプロセスと７ナノプロセスは中部科学工業園区（中科）で行い、５ナノプロセスは南科で担うことになった。

　荘子寿ＴＳＭＣ場務処長は、今後２～３年で５ナノプロセスを推進する計画で、敷地面積は40ヘクタール、投資額は数千億台湾元（１元＝約3.6円）に上ると説明した。ＴＳＭＣの董事会で決定次第、計画を始動する。

再生水施設、20億元負担

　南科の環境影響差異分析の報告書は、▽用水量、１日当たり25万トン（従来の認可20万トン）▽排水量、同17万6,000トン・再生水施設完成後15万6,000トン（従来16万5,000トン）▽使用電力量、同222万kWh（従来152kWh）──となっている。

　ＴＳＭＣの５ナノプロセス移行によって、南科での用水量は１日当たり５万トン増えるが、南科が再生水を１日当たり３万2,500トン使用すると約束したことが、環境影響評価委員会大会を順調に通過した大きな要因となった。

　荘処長は、南科に再生水施設を20億元投じて設置し、１日当たり２万トンの再生水を供給して５ナノプロセスで使用すると説明した。20年に供給開始を目指す。工業用水の再生水は１立方メートル当たり70～80元と水道水の12元に比べて非常に高いが、ＴＳＭＣは製造コストに含める。

　また、台南市永康区の汚水処理施設が再生水施設に更新され、早ければ20年にＴＳＭＣ、聯華電子（ＵＭＣ）、群創光電（イノラックス）、旭硝子向けに20年に１日当たり8,000トン、23年に１万2,500トンを供給する予定だ。

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