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TSMCの7ナノ量産加速、コバルト工程が貢献=AM予測


ニュース 電子 作成日:2017年5月18日_記事番号:T00070609

TSMCの7ナノ量産加速、コバルト工程が貢献=AM予測

 半導体製造装置の世界最大手、米アプライド・マテリアルズ(AM)は17日、銅の代わりにコバルトを用いる製造プロセスに成功したと発表し、これによりファウンドリー世界最大手、台湾積体電路製造(TSMC)の7ナノメートルプロセスの量産時期が早まると予測した。18日付経済日報が報じた。

 アプライド・マテリアルズは、製造プロセスにコバルトを用いることにより、導電性が高まり、消費電力が抑えられ、半導体チップの小型化が可能になると説明。ムーアの法則(半導体の集積密度は18~24カ月で倍増する)が7ナノプロセスのみならず、5ナノプロセスや3ナノプロセスまで続くと予想した。

 TSMCは来週25日に年1回の技術フォーラムを開催予定だ。アプライド・マテリアルズの技術的なボトルネック突破で確定したTSMCの5ナノプロセスのロードマップが世界で初めて発表されると予想されている。3ナノプロセスの工場設立場所も説明されるとみられている。