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TSMC7ナノ新工場に弾み、中科拡張の環境審査通過


ニュース 電子 作成日:2018年6月28日_記事番号:T00077828

TSMC7ナノ新工場に弾み、中科拡張の環境審査通過

 中部科学工業園区(中科)台中園区の拡張用地に対する環境影響差異分析報告が27日、行政院環境保護署(環保署)の審査を通過した。これにより、ファウンドリー世界最大手の台湾積体電路製造(TSMC)が同地で進めている7ナノメートル製造プロセス工場の設置計画が加速する見通しだ。28日付経済日報が報じた。

 中科台中園区の拡張用地の開発計画自体は既に環境審査を通過していたが、半導体技術の進歩に伴い、使用する化学物質に変更が生じたため、環境影響差異分析の実施、報告書に対する審査が行われていた。

 約53ヘクタールの面積の拡張用地で、TSMCは工場3基の設置を計画しており、うち10ナノプロセスを採用する1基は既に量産を開始、7ナノプロセスを採用する2基のうち1基も製造装置の搬入段階にある。残り1基が現在、建設中だ。

 なお同地ではTSMCのほか、自転車最大手の巨大機械工業(ジャイアント)が経営本部を建設中だ。