半導体材料の米インテグリスは31日、台湾の技術研究開発（Ｒ＆Ｄ）センターのアップグレードに600万米ドルを投じると表明した。これにより先進製造プロセスや重要プロセス向け製品の生産量、信頼性などの向上に努める。１日付工商時報が報じた。
インテグリスによると、台湾の技術Ｒ＆Ｄセンターの機能拡充に向け、ウエハー検査システム「KLA SP3」および、クラス10のクリーンルームや塗布現像装置「ACT12」など関連設備を導入。台湾におけるウエハー検査能力を19ナノメートルまで高めることになる。
このほか、顧客が次世代の半導体製造プロセスの改善に努める中で需要が高まっているとして、新竹工場においてＣＭＰ（化学機械研磨）ろ過用ＮＭＢフィルターの生産能力増強も図る。
なおインテグリスは、桃園市楊梅区と新竹県湖口郷にも工場を設置しており、台湾の半導体メーカーにＣＭＰろ過器や分子状汚染物質（ＡＭＣ）ろ過器、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）ドラムなど多様な製品、サービスを提供している。
