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上銀のウエハー搬送ロボット、SEMI安全規格取得


ニュース 機械 作成日:2018年9月14日_記事番号:T00079278

上銀のウエハー搬送ロボット、SEMI安全規格取得

 工作機械部品と産業用ロボット大手、上銀科技(ハイウィン・テクノロジーズ)の開発したシリコンウエハー搬送ロボット「HIWIN-EFEM」が13日、国際半導体製造装置材料協会(SEMI)の半導体製造装置向け国際安全規格「SEMI S2」の認証を取得した。ハイウィンの卓永財董事長は、半導体メーカーからの受注獲得の上で大きな武器になると述べた。14日付経済日報が報じた。

 卓董事長は、ファウンドリー最大手、台湾積体電路製造(TSMC)やサムスン電子などが生産拡大を計画しており、半導体製造装置の需要増が期待できると説明した。

 精密機械研究発展中心(PMC)の李健勲副総経理は、SEMIの予測によると、ファウンドリーの2019年の設備投資額は5%増加する見通しだと指摘した。