国際半導体製造装置材料協会（ＳＥＭＩ）が４日発表した統計によると、台湾の第１四半期の半導体製造装置市場は前期比36％増、前年同期比68％増の38億1,000万米ドルで、世界首位に返り咲いた。５日付工商時報が報じた。
台湾市場の大幅成長は、台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）による▽７ナノメートルプラス製造プロセス向けＥＵＶ（極端紫外線）露光装置▽５ナノ製造プロセスを採用する南部科学工業園区（南科）のFab18工場向け設備──の調達だ。
韓国市場は28億9,000万米ドル（前期比８％減、前年同期比54％減）で２位に下落した。中国市場は23億6,000万米ドル（前期比13％減、前年同期比11％減）で、前期と同じ３位だった。全世界では137億9,000万米ドルで、前期比８％減、前年同期比19％減だった。
統計は、ＳＥＭＩと日本半導体製造装置協会（ＳＥＡＪ）が共同で、世界80社以上の半導体製造装置メーカーから毎月提供されるデータを集計したもの。
