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米AKT、南科に8.5世代CVD装置工場設立


ニュース 電子 作成日:2008年7月9日_記事番号:T00008708

米AKT、南科に8.5世代CVD装置工場設立


 世界最大の半導体製造装置メーカー、米アプライド・マテリアルズ傘下のAKTが、台南科学工業園区(南科)に第8.5世代対応の化学気相成長(CVD)装置工場を設立する。9日付経済日報が伝えた。

 AKTはTFT-LCD(薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ)アレイの製造装置の世界シェア首位で、早くから南科に電子ビームアレイ検査装置工場を設立し、各国に向けて出荷している。また、現在主流の第8世代対応のCVD装置も台湾で生産している。

 同社は今回の工場新設で、台湾におけるフラットパネルディスプレイや薄膜太陽電池の製造に必要なCVD装置の生産ラインを、これまでの1本から3本に増やすこととなる。

 新工場では友達光電(AUO)や奇美電子(CMO)など域内のパネルメーカー向けだけでなく、アジア全域に向けた8.5世代以下のCVD装置の生産を行うことになる。台湾のパネルおよび太陽電池産業の技術向上や、大規模な関連部品の調達が期待されている。