ニュース 電子 作成日:2020年2月14日_記事番号:T00088289
三菱ガス化学は13日、半導体の製造工程で使用される超純過酸化水素(超純過水)の台湾での需要急増を受け、工業用過酸化水素(工薬過水)製造設備の建設を決定した。工薬過水製造設備から、稼働中の超純過水設備へ、原料となる工薬過水(原料過水)を供給することで、原料過水から超純過水までの現地一貫生産体制を実現する。
超純過水などの化学製品を製造販売する同社100%子会社の巨菱精密化学(MGCピュアケミカルズ台湾、台中市)が建設する。過酸化水素の年産4万トン(100%濃度換算)、2023年1月の運転開始予定。投資額は47億台湾元(約170億円)。
超純過水は、主に半導体のウエハーやデバイスの製造工程で、洗浄・エッチング・研磨剤として使用される。今後、第5世代移動通信(5G)、モノのインターネット(IoT)、クラウドコンピューティング、人工知能(AI)などの用途拡大により、半導体需要は長期的に伸長すると予想され、半導体の微細化に伴い、より高品質で大量の超純過水需要が高まっている。
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