20日付自由時報によると半導体業界では、新型コロナウイルス感染拡大を受けて欧州各国が国境を封鎖し、貨物輸送に影響が出ていることから、極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィー関連設備の出荷に支障が出ており、サムスン電子の５ナノメートル製造プロセスによる量産スケジュールに遅れが生じるとの観測が浮上している。これが事実となれば、５ナノプロセス製品市場は今年、台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）の独壇場になると見込まれる。
業界関係者によると、ＴＳＭＣは昨年早くにＥＵＶリソグラフィー関連設備の購入を決め、同年末にほぼ全ての設備を工場に搬入。第２四半期に予定する５ナノプロセスによる量産開始は、新型コロナウイルス感染拡大による影響を受けない見通しだ。同プロセス製品の第１期生産ラインの受注は既に満杯で、今年通年の売上高構成比で10％を目指す。
