半導体大手各社が極端紫外線（ＥＵＶ）技術を採用した先進プロセスの生産能力拡充を進める中、関連設備や材料サプライヤーの受注が大幅成長している。ＥＵＶ設備モジュールを受託生産する帆宣系統科技（マーケテック・インターナショナル、ＭＩＣ）とＥＵＶポッドの家登精密工業（Gudengプレシジョン・インダストリアル）は、受注が下半期まで満杯となっている。15日付工商時報が報じた。
ＭＩＣは、５月末の手元の受注額が224億台湾元（約810億円）と過去最高で、下半期までの業績に反映される見通しだ。
証券会社は、家登精密工業の６月売上高は３億元を突破して過去最高となると予測した。同社はＥＵＶポッドのほか、▽検査機▽クリーナー▽ストッカー──などＥＵＶプロセスの関連製品も供給しており、下半期の力強い成長が予測されている。
ファウンドリー最大手の台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）は、ＥＵＶリソグラフィー技術による７ナノメートルプロセス強化版（７ナノプラス）と５ナノプロセスの生産能力を拡充している。韓国のサムスン電子はＥＵＶ生産ラインに設備投資を行い、ファウンドリー業務とＤＲＡＭ生産を支援する。ＳＫハイニックスはＥＵＶプロセスによるＤＲＡＭ量産開始を前倒ししている。インテルはＥＵＶ技術採用の７ナノプロセスが来年量産を開始する。
