ファウンドリー世界最大手、台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）は、倉庫から生産ラインへの半導体ウエハーの搬送を自動化する世界初のシステムの開発に成功したと発表した。第１四半期に南部科学園区（南科）のFab18A工場に導入し、作業員１人当たり従来の95％に相当する１日1.8トンの搬送量削減を実現した。１日付工商時報が報じた。
ＴＳＭＣの工場では倉庫に入荷した半導体ウエハーを作業員がケースから取り出し、ベルトコンベヤーに載せてクリーンルームの生産ラインに搬送している。作業効率の改善と安全性向上を目的に2018年から▽ベルトコンベヤー▽無人搬送車▽ロボットアーム──で構成されるシステムの開発に着手し、成功した。
ＴＳＭＣは21年末までに▽新竹科学園区（竹科）のFab12B▽南科のFab14A・B▽中部科学園区（中科）のFab15・B──や南科に建設中のFab18Bといった12インチウエハー工場にも同システムを導入する予定だ。
