設備メーカーの家登精密工業（Gudengプレシジョン・インダストリアル）は18日、米インテグリスと、レチクルＳＭＩＦポッド（ＲＳＰ）と極端紫外線（ＥＵＶ）ポッドに関する特許侵害訴訟について、和解したと発表した。和解内容は非公開。19日付工商時報などが報じた。
インテグリスは2015年、家登精密が製造販売する全てのレチクルＳＭＩＦポッドが特許技術を侵害しているとして訴訟を提起し、台湾の智慧財産法院（知的財産権裁判所）が19年３月にインテグリスの訴えを認め、家登精密がインテグリスに対し９億7,800万台湾元（約36億円）を賠償するよう命じる判決を下した。
続いてインテグリスは19年７月、家登精密のＥＵＶポッドが特許を侵害しているとして訴訟を提起した。家登精密は経済部智慧財産局（知的財産局）に対しインテグリスの発明特許異議を申し立て、智慧財産局が今年６月に進歩性がないとしてインテグリスの発明特許を取り消した。
