ファウンドリー最大手、台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）は２日に開催した技術フォーラムで、今後３年で1,000億米ドルを投資し、従来の５倍の急ピッチで増産すると表明した。南部科学園区（南科）の超大型工場（ギガファブ）Fab18の５ナノ、３ナノメートル製造プロセス、新竹科学園区（竹科）の研究開発（Ｒ＆Ｄ）センターや２ナノ工場などを含む。魏哲家・総裁は、デジタルトランスフォーメーション（ＤＸ）で高性能計算（ＨＰＣ）向け半導体需要が爆発的に成長する見通しで、５ナノなど先進プロセス需要が非常に強まっていると語った。３日付工商時報などが報じた。

　ＴＳＭＣは４月に、今年の設備投資計画を300億米ドルへと引き上げていた。

　秦永沛・営運資深副総経理によると、Fab18では５ナノのＰ４工場、３ナノのＰ５工場、Ｐ６工場を建設中だ。続いて３ナノのＰ７工場、Ｐ８工場を建設する予定だ。南科ではこの他、Fab14に特殊製造プロセスのＰ８工場を拡張する計画だ。

　竹科では、２ナノ生産拠点のギガファブFab20建設を計画しており、宝山用地（新竹県宝山郷）の取得手続きを進めている。Fab12のＰ８工場、Ｐ９工場は研究開発センターとし、うちＰ８工場は今年完工する予定だ。

　米アリゾナ州で着工した５ナノの12インチ新工場（Ｆ21）は、24年に量産を開始する予定だ。月産能力２万枚。敷地面積は1,100エーカーで、ＴＳＭＣの台湾の工場の総和を上回る広さだ。

　パッケージング・テスティング（封止・検査）については、苗栗県竹南鎮のＡＰ６工場が22年下半期に量産を開始する見通しだ。前段階の３次元（３Ｄ）ＩＣパッケージングなどを手掛ける。

４ナノ試験生産、Ｑ３に前倒し

　魏・総裁は、４ナノプロセスの開発は順調で、試験生産の開始時期を今年第３四半期へと１四半期前倒しすると発表した。３ナノは従来予定通り、下半期に試験生産、来年下半期の量産を予定している。

　張暁強・業務開発副総経理は開発中の２ナノプロセスについて、ナノシート装置の開発により、ナノシートの効能が10％以上上昇すると見込まれると説明した。

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