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IHIのシリコンウエハー関連装置、台北にアフターサービス拠点設立


ニュース 機械 作成日:2011年2月22日_記事番号:T00028355

IHIのシリコンウエハー関連装置、台北にアフターサービス拠点設立

 IHI関係会社のIHI回転機械(ICM、本社・東京都江東区、榊純一社長)は、太陽電池や半導体用シリコンウエハーメーカーなど向けにスラリーリサイクルシステムのアフターサービスを手掛ける石川島科技(IHIシステムテクノロジー台湾)を、台湾販売代理店の佳値貿易(パネル・トレーディング)との合弁で台北市に設立し、17日に営業を開始した。石川島科技の資本金は3,000万台湾元(約8,500万円)で、出資比率はIHIが67%、佳値貿易が33%。

 スラリーリサイクルシステムとは、太陽電池、半導体などの製造工程でシリコンインゴット切断時に使用したスラリー(砥粒とクーラントを調合した加工液)を回収して遠心分離機で固液分離し、砥粒とクーラントの再利用を可能にする装置で、IHIの世界シェアは90%に上る。台湾の顧客には既に50件を納入しており、今後、修理・部品工事を提供するとともに、受注拡大を狙う。