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TSMCの化学材料品質問題、ダウ・ケミカルに賠償請求か


ニュース 電子 作成日:2019年2月19日_記事番号:T00082028

TSMCの化学材料品質問題、ダウ・ケミカルに賠償請求か

 19日付自由時報によると、ファウンドリー世界最大手、台湾積体電路製造(TSMC)は、1月に発表した化学材料の品質不良問題による大量のシリコンウエハー廃棄で、化学材料サプライヤーの米ダウ・ケミカルに対し、40億台湾元(約143億円)の損害賠償を請求するとの観測が浮上している。

 TSMCは、サプライヤー名や賠償請求の規模について明言していない。

 業界の観測では、品質不良が見つかったのはTSMCの南部科学工業園区(南科)12インチウエハー工場「Fab14B」のフォトレジスト液で、歩留まり率に影響はないと判断して使用したため、ウエハー数万枚に損失が及んだとされる。この観測に対しTSMCは、事実と異なると否定した。

 また、新竹科学工業園区(竹科)「Fab12」や中部科学工業園区(中科)「Fab15」も同一ロットで、使用を停止したとみられている。